发明名称 Belichtungsverfahren und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
摘要
申请公布号 DE69837232(T2) 申请公布日期 2007.11.08
申请号 DE19986037232T 申请日期 1998.05.06
申请人 CANON K.K. 发明人 HARA, SHINICHI
分类号 G03F7/20;H01L21/027;H01L21/68 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
地址
您可能感兴趣的专利