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经营范围
发明名称
RETAINING RING FOR CHEMICAL MECHANICAL POLISHING
摘要
申请公布号
KR100774096(B1)
申请公布日期
2007.11.06
申请号
KR20060078534
申请日期
2006.08.21
申请人
发明人
分类号
H01L21/304
主分类号
H01L21/304
代理机构
代理人
主权项
地址
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