曝光装置及元件制造方法

摘要

曝光装置，具备：第1光学系统(PL)，具有光学元件(20)，用以将射入之曝光用光(L1)分离成第1曝光用光(L11)及第2曝光用光(L12)，使第1曝光用(L11)朝第1方向射出且使第2曝光用光(L12)朝与第1方向不同之第2方向射出；及第2光学系统(HL)，系使从光学元件(20)朝第2方向射出之第2曝光用光(L12)，与朝第1方向射出之第1曝光用光(L11)一起照射在基板(P)上。