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经营范围
发明名称
备有飞击式工件定中心功能的加工装置
摘要
一种基材加工装置,包括:一输送装置、至少一连接至该输送装置之感应器及一控制器。该输送装置系用于输送基材于该加工装置之加工平台之间。该感应器可感应由该传送装置所传送之基材。该感应器系经配置以传送至少一个讯号以反应该基材之感应。该控制器可传讯地连接至该感应器及经配置以决定该基材于至少两个方向之校准,该等方向彼此相对成一角度及与一预定之位置有关联。该控制器可由该至少一讯号来决定校准,该讯号辨识不超过两个在基材上之点及不受制于基材之间之半径变差(variances)。
申请公布号
TW200741935
申请公布日期
2007.11.01
申请号
TW095125186
申请日期
2006.07.11
申请人
布鲁克斯自动机械公司
发明人
阿里色吉尔基士德;哈尼尔奥利伟拉;威廉佛士耐;理查毕克林;罗勃卡维尼
分类号
H01L21/67(2006.01)
主分类号
H01L21/67(2006.01)
代理机构
代理人
杜汉淮
主权项
地址
美国
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