晶圆保持体、安装有该晶圆保持体之晶圆探针仪用加热器单元及晶圆探针仪

摘要

本发明之目的在于提供可藉包含载置半导体晶圆之吸盘盘顶、及支持该吸盘盘顶，且平面度在0.1 mm以下之支持体之晶圆保持体、使用其之晶圆探针仪用加热器单元及晶圆探针仪，即使施加高负载，其变形也相当少，且可有效地防止接触不良，更在具有被要求特高精度之微细电路之半导体之加热时，可防止晶圆保持体之驱动系统之温度上升之晶圆保持体及装载其之晶圆探针仪装置。在本发明之晶圆保持体中，支持体之平面度在0.05 mm以下时较为理想，在0.01 mm以下时更为理想。