微尖端电极制造方法及装置

摘要

本发明系有关一种微尖端电极制造方法及装置，其主要是针对工作电极以蚀刻液及蚀刻法进行化学蚀刻，进而使该工作电极具有微米尺寸之尖端，其方法是将工作电极置入蚀刻槽内的蚀刻液中，并以电脑及流量控制阀来控制该蚀刻液排出之流速及流量，进而制成特定形状且具有微米尺寸尖端的电极，藉以使电极可被大量生产并能达到微米尺寸，以节省加工时间及降低成本。