| 发明名称 |
改良弱减系统操作之方法及设备 |
| 摘要 |
于本发明之一实施态样中，系提供一种设备，其包括：(1)一介面，系适以分析关于一电子装置制造系统之资讯，此电子装置制造系统系产生具有一不欲其存在之物质的一废弃物，而该介面并适以提供关于该废弃物之资讯；以及(2)一弱减系统，系适以接收关于该废弃物之资讯、接收该废弃物，并减弱不欲其存在之物质。本发明亦提供数种其他实施态样。 |
| 申请公布号 |
TW200740509 |
申请公布日期 |
2007.11.01 |
| 申请号 |
TW096109004 |
申请日期 |
2007.03.15 |
| 申请人 |
应用材料股份有限公司 |
发明人 |
波须尼夫彼得;克力马克W CURRY, MARK W.;罗克斯萨巴斯提恩 |
| 分类号 |
B01D53/00(2006.01);H01L21/00(2006.01) |
主分类号 |
B01D53/00(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
蔡坤财;李世章 |
| 主权项 |
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| 地址 |
美国 |
