发明名称 Method of forming carbon polymer film using plasma chemical vapor deposition
摘要
申请公布号 KR100771926(B1) 申请公布日期 2007.11.01
申请号 KR20060111032 申请日期 2006.11.10
申请人 发明人
分类号 H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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