发明名称 METHOD FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR100772792(B1) 申请公布日期 2007.11.01
申请号 KR20050111279 申请日期 2005.11.21
申请人 发明人
分类号 H01L21/8242 主分类号 H01L21/8242
代理机构 代理人
主权项
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