衬底的激光热处理中即时失效的快速检测

摘要

本发明公开了一种热处理系统(10)，该热处理系统包括以激光器波长发射光的激光阵列(34)，衬底支撑，设置在所述源和所述衬底支撑之间并且利用激光辐射源发射的光在衬底的衬底平面上形成直线光束的光学片(48、52、62、64、66、70)，以及扫描装置，其用于实现所述直线光束在贯穿所述直线光束的纵轴的方向上相对于所述衬底的移动。该系统进一步包括包围所述光学片的壳体(68)，设置在所述壳体内侧用于感测环境光级别的光检测器(81)，连接至激光辐射源的电源(100)，以及控制器(90)，其管理所述电源并响应所述光检测器(81)，用于在所述光检测器的输出增加超过阈值环境级别时中断所述电源。

主权项

1.一种用于衬底热处理的装置，包括：以激光器波长发射光的激光辐射源；光学系统，其设置在所述源和衬底之间以接收来自所述源的用于衬底热处理的光，其中所述光学系统包括多个光学元件；用于在其中保持所述光学系统的壳体，其中所述激光辐射在所述壳体内维持为预定级别，并且来自所述光学系统的至少一个光学元件的损坏导致所述壳体内的光辐射超过所述预定级别；光检测器，其设置于所述壳体内，用于通过检查所述电信号是否超过预定的基准级别而检测所述壳体内过量的激光辐射，并且在检测到过量的激光辐射时产生控制信号；为所述激光辐射源产生功率的电源；以及基于来自所述光检测器的过量激光辐射控制所述电源的控制器。