发明名称 APPARATUS FOR SUPPORTING A SHOWERHEAD
摘要
申请公布号 KR100769963(B1) 申请公布日期 2007.10.25
申请号 KR20050015466 申请日期 2005.02.24
申请人 发明人
分类号 C23C16/455;H01L21/02;C23C16/44;C23C16/513;C23F1/00;H01J37/32;H01L21/205;H01L21/3065 主分类号 C23C16/455
代理机构 代理人
主权项
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