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发明名称 Akustischer Sensor mit Resonatorzelle zur kontinuierlichen Überwachung von Gasen
摘要
申请公布号 DE69737221(T2) 申请公布日期 2007.10.25
申请号 DE19976037221T 申请日期 1997.06.12
申请人 LEYBOLD INFICON INC. 发明人 WAJID, ABDUL;HURD, CLARENCE;HETZEL, MELVIN C.
分类号 G01N29/02;G01N29/09;G01N29/00;G01N29/036;G01N29/22 主分类号 G01N29/02
代理机构 代理人
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