发明名称 |
含有二极管的掩模式只读存储器及其制造方法 |
摘要 |
本发明提供一种含有二极管的掩模式只读存储器及其制造方法。该含有二极管的掩模式只读存储器包括:一半导体基底;一绝缘层,位于该半导体基底上;在第一方向设置的多条第一导线,位于该绝缘层上;由不同导电型的两个多晶硅层所构成的多个垂直式PN二极管,位于该第一导线上;多个介电层,位于部分二极管上,二极管上有介电层的定义为逻辑“0”,而二极管上没有介电层者定义为逻辑“1”;以及依第二方向设置的多条第二导线,位于该介电层和该二极管上,该第一和第二方向为垂直。本发明是利用二极管上是否有介电层来定义逻辑“0”逻辑“1”,且可堆叠多层二极管层,而形成高密度的三度空间数组。 |
申请公布号 |
CN100345299C |
申请公布日期 |
2007.10.24 |
申请号 |
CN02152773.3 |
申请日期 |
2002.11.27 |
申请人 |
旺宏电子股份有限公司 |
发明人 |
赖昇志;龙翔澜;陈逸舟 |
分类号 |
H01L27/102(2006.01);H01L21/8229(2006.01) |
主分类号 |
H01L27/102(2006.01) |
代理机构 |
隆天国际知识产权代理有限公司 |
代理人 |
楼仙英;陈红 |
主权项 |
1.一种含有二极管的掩模式只读存储器,其包括:一半导体基底;一绝缘层,位于该半导体基底上;在第一方向设置的多条第一导线,位于该绝缘层上;由不同导电型的两个多晶硅层所构成的多个垂直式PN二极管,位于该第一导线上;多个介电层,位于部分二极管上,二极管上有介电层的定义为逻辑“0”,而二极管上没有介电层者定义为逻辑“1”;以及依第二方向设置的多条第二导线,位于该介电层和该二极管上,该第一和第二方向为垂直。 |
地址 |
台湾省新竹 |