METHOD FOR PRODUCTION OF A MICROMECHANICAL COMPONENT

摘要

Es wird ein Verfahren zur Herstellung eines mikromechanischen Bauelements vorgeschlagen, wobei das Bauelement (10) eine Membran (11) , eine feststehende Platte (7) mit mindestens einer Durchgangsöffnung (9) und einen Hohlraum (12) zwischen der Membran (11) und der Platte (7) aufweisen soll. Die Membran (11) wird in einem Schichtaufbau (2) über einem Substrat (1) realisiert, und die Platte (7) wird aus dem Substrat (1) herausstrukturiert, wobei von der Rückseite des Bauelements (10) ausgehend eine Kaverne (6) im Substrat (1) erzeugt wird. Das erfindungsgemäße Verfahren ist einfach zu realisieren und ermöglicht eine präzise Strukturierung der Durchgangsöffnungen (9) in der Platte (7) unabhängig von etwaigen Durchgangsöffnungen in der Membran (11). Dazu wird zumindest der die Rückseite der Platte (7) bildende Boden der Kaverne (6) mit mindestens einer Maskierschicht (8) versehen, die zum Erzeugen der mindestens einen Durchgangsöffnung (9) strukturiert wird. Dann wird das Substratmaterial im Bereich der Durchgangsöffnung (9) von der Rückseite der Platte (7) ausgehend entfernt.