| 摘要 |
[课题]提供变形少、耐久性优良的电铸物及印模(Stamper)。[解决手段]形成于玻璃(glass)母盘15的细微图案(pattern)，以溅镀(sputter)形成导电膜16，而且进行电铸而形成由镍(nickel)所构成的电镀膜17。在形成此电镀膜17时，于构成电镀膜17的镍结晶，以可看作单结晶的最大的聚集之微晶的大小系未满50nm，结晶粒成长方向(厚方向)的平均粒径为170μm以下，正交于结晶粒成长方向(平面方向)的平均粒径成为10μm以下的方式，调整电铸条件(例如：电流密度的大小)。 |
