| 主权项 |
1.一种微影装置,其包含: 一用以提供辐射之一投影光束之照明系统; 一用以支撑图案化构件之支撑结构,该图案化构件 用以赋予该投影光束在其横截面中一图案; 一用以固持一基板之基板台;及 一用以将该经图案化之光束投影至该基板之一目 标部分的投影系统, 一用以将该基板及该图案化构件相对于彼此移动 之传送结构,该传送结构包含一横杆、一驱动零件 及一滑杆,该滑杆由该横杆支撑且该驱动零件经安 置以在一传送方向上相对于该横杆移动该滑杆, 其特征在于,该横杆具有一与该传送方向横向的凹 内表面,该滑杆在与该传送方向横向的至少两个方 向上被支撑地靠着该凹内表面,该凹内表面含有具 实体平面之一凹陷截面。 2.如请求项1之微影装置,其中该传送结构包含一耦 接至该横杆之马达,其用以藉由该驱动零件及该滑 杆在一与该传送方向横向之方向上移动该横杆。 3.如请求项1之微影装置,其中该横杆为具有一内表 面之中空结构,该内表面之与该传送方向横向的横 截面除了一狭槽之外皆被封闭,该凹表面为该内表 面之一部分,该滑杆具有一延伸穿过该狭槽至该横 杆外部的延长部分,在该延长部分上支撑该基板或 该图案化构件。 4.如请求项1、2或3之微影装置,其中该驱动零件包 含一被附着至面向该横杆之一壁区段之该滑杆的 磁体,该壁区段及/或附着至其的磁体与该磁体相 互作用以驱动沿该横杆之运动,该磁体被设置于位 于该横杆之一内部空间外部的该滑杆之延长部分 上,位于可支撑该内部空间内部的该滑杆的该滑杆 之一本体部分与用以支撑该基板或该图案化构件 的该延长部分之一表面之间。 5.如请求项1、2或3之微影装置,其中该滑杆包含一 用以支撑该滑杆使其靠着该凹表面之一承载部分 的气动轴承表面,该横杆包含一壁区段,该滑杆之 一受支撑的本体部分位于该壁区段与该凹表面之 该承载部分之间,该驱动零件包含一附着至面向该 壁区段之该滑杆的磁体,该壁区段与该磁体相互作 用以驱动沿该横杆之运动,该壁区段位于该磁体与 该凹表面之该承载部分之间。 6.如请求项4之微影装置,其中该壁区段位于该磁体 与该凹表面之该承载部分之间的一水平路径中。 7.如请求项1、2或3之微影装置,其中该滑杆包含: 一用以支撑该滑杆使其靠着该内凹表面的气动轴 承零件, 一用以将该气动轴承零件耦接至该滑杆之一本体 部分的接合件,该接合件允许该气动轴承零件围绕 至少一旋转轴线而相对于该本体部分旋转。 8.如请求项7之微影装置,其中该接合件为一允许在 所有方向上进行旋转之球接合件。 9.如请求项7之微影装置,其中该滑杆具有一在一水 平方向上延伸至该横杆之一外部的延长部分,该气 动轴承零件藉由该水平方向上的一力支撑该滑杆 使其靠着该内凹表面。 10.如请求项7之微影装置,其在该滑杆被支撑地靠 着该横杆之任何位置包含气动轴承零件及用以将 此等气动轴承零件之每个可旋转地耦接至该本体 部分的接合件。 11.如请求项1、2或3之微影装置,其包含一可供应电 流以向该驱动零件供应动力之电缆,该电缆之沿该 横杆之一长度而延伸至该滑杆的至少一部分被设 置于该横杆之该内部空间中。 12.一种线性马达,其包含: 一横杆,其在该马达之一传送方向上延伸且具有一 与一传送方向横向之凹内表面; 一滑杆,其具有一在与该传送方向横向的至少两个 方向上被支撑地靠着该凹内表面的本体部分及一 延伸至该横杆之一内部空间之外以支撑一藉由该 马达而移动之有效负载的的延长部分; 经设置以在该传送方向上相对于该横杆移动该滑 杆之若干磁体。 13.如请求项12之线性马达,其中该等磁体中的一第 一个磁体被附着至面向该横杆之一壁区段的该滑 杆,该壁区段与该磁体相互作用以驱动沿该横杆之 运动,该磁体被设置于该横杆之该内部空间外部的 该延长部分上,位于该本体部分与该有效负载之间 。 14.如请求项12或13之线性马达,其中该滑杆包含一 用以支撑该滑杆使其靠着该凹表面之一承载部分 的气动轴承表面,该横杆包含一壁区段,该滑杆之 一受支撑的本体部分位于该壁区段与该凹表面之 该承载部分之间,该磁体被附着至面向该壁区段的 该滑杆,该壁区段及/或附着至其的磁体与该磁体 相互作用以驱动沿该横杆的运动,该壁区段位于该 磁体与该凹表面之该轴承部分之间。 15.如请求项12或13之线性马达,其中该滑杆包含: 一用以支撑该滑杆使其靠着该内凹表面的气动轴 承零件, 一用以将该气动轴承零件耦接至该滑杆之一本体 部分之接合件,该接合件允许该气动轴承零件围绕 至少一旋转轴线而相对于该本体部分旋转。 16.如请求项12或13之线性马达,其包含一用以向该 驱动零件供应电流之电缆,该电缆之沿该横杆之一 长度延伸至该滑杆的至少一部分被设置于该横杆 内部。 17.一种制造微影器件之方法,其包括以下步骤: 提供一基板; 使用一照明系统来提供辐射之一投影光束; 使用图案化构件以赋予该投影光束在其横截面中 一图案;及 将该经图案化之辐射光束投影至该基板之一目标 部分上, 藉由一横杆、一驱动零件及一滑杆使该基板及该 图案化构件相对于彼此移动,该滑杆由该横杆支撑 且该驱动零件经设置以在一传送方向上相对于该 横杆移动该滑杆, 其特征在于,在该移动期间,该滑杆在与该传送方 向横向之方向上被支撑地靠着该横杆的一凹内表 面,该滑杆在与该传送方向横向的至少两个方向上 被支撑地靠着该凹内表面。 18.如请求项17之制造微影器件之方法,其包含: 藉由一气动轴承支撑该滑杆使其靠着该凹表面之 一承载部分, 藉由由位于该横杆与该滑杆之间的该驱动零件所 施加的一磁力而在该气动轴承上提供一预张力。 19.如请求项17或18之制造微影器件之方法, 藉由一可旋转地耦接至该滑杆之一本体部分的气 动轴承零件来支撑该滑杆使其靠着该内凹表面。 图式简单说明: 图1描绘了根据本发明之一实施例的微影装置; 图2展示了一传送机构; 图3展示了一传送机构之一实施例的横截面; 图4展示了一传送机构之一实施例的另一横截面; 图5展示了一传送机构之横截面; 图6展示了一传送机构之另一实施例的横截面。 |
