发明名称 |
Apparatus for sputtering in a highly purified gas atmosphere |
摘要 |
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申请公布号 |
US3294669(A) |
申请公布日期 |
1966.12.27 |
申请号 |
US19630296550 |
申请日期 |
1963.07.22 |
申请人 |
BELL TELEPHONE LABORATORIES, INCORPORATED |
发明人 |
THEUERER HENRY C. |
分类号 |
C23C14/35;C23C14/56;H01J37/31;H01J37/34 |
主分类号 |
C23C14/35 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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