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发明名称 Verfahren zum Herstellen einer Vielzahl von Zwischensockeln und Vorrichtung zum Durchfuehren des Verfahrens
摘要
申请公布号 DE1235439(B) 申请公布日期 1967.03.02
申请号 DE196400T7119 申请日期 1964.10.01
申请人 TELEFUNKEN PATENTVERWERTUNGSGESELLSCHAFT M.B.H. 发明人 BAUER ALFRED;BAUMANN DIETER
分类号 H01L21/48 主分类号 H01L21/48
代理机构 代理人
主权项
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