发明名称 PRECISION APPARATUS HAVING A MOVABLE MEMBER, AN AIR SLIT AND A VACUUM DUCT
摘要
申请公布号 EP1838494(A1) 申请公布日期 2007.10.03
申请号 EP20050825448 申请日期 2005.12.14
申请人 KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V. 发明人 RIJKEN, ANTONIUS, M.;CUPPEN, MARTINUS, A, M.;EGGINK, HENDRIK, J.;NIJLAND, BJORN, A., H.
分类号 B23Q1/01;B23Q11/00 主分类号 B23Q1/01
代理机构 代理人
主权项
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