| 发明名称 | 气流控制系统 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了一种气流控制系统，包括：气流传感器、控制器与鼓风提取器；气流传感器检测上下料系统中的气流，并将该气流信号反馈至控制器，该控制器向鼓风提取器发出指令，控制尘粒提取速度，使气流保持在预定值以清除上下料系统中的尘粒。本实用新型在没有任何不利影响的基础上能减少上下料系统的尘粒含量，避免尘粒污染及产品产量下降。 | ||
| 申请公布号 | CN200953093Y | 申请公布日期 | 2007.09.26 |
| 申请号 | CN200620046601.7 | 申请日期 | 2006.10.08 |
| 申请人 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 发明人 | 于凤雷;吴凌辉;张伟 |
| 分类号 | G05D7/06(2006.01);H01L21/677(2006.01);H01L21/00(2006.01) | 主分类号 | G05D7/06(2006.01) |
| 代理机构 | 上海浦一知识产权代理有限公司 | 代理人 | 王函 |
| 主权项 | 1、一种气流控制系统，其特征在于，包括：气流传感器，用于检测上下料系统中的气流；控制器，与气流传感器相连接，用于接收气流传感器反馈的气流信号；鼓风提取器，与控制器相连接，用于接收控制器传输的控制信号；气流传感器检测上下料系统中的气流，并将该气流信号反馈至控制器，该控制器向鼓风提取器发出指令，控制尘粒提取速度，使气流保持在预定值以清除上下料系统中的尘粒。 | ||
| 地址 | 201203上海市浦东新区张江路18号 | ||