具有多组梳状电极的微机电致动器及其制造方法

摘要

本发明是有关一种具有多组梳状电极的微机电致动器及其制法，而该微机电致动器为一微机电组件，包括一具有梳状电极的可动件，及二具有梳状电极的固定件，且彼此间对齐堆栈但由一绝缘层而电性绝缘；而可动件为一对扭转式枢纽支撑而悬置于一腔体中，使可动件能以该枢纽为转轴而摆动；又可动件的梳状电极与一固定件的梳状电极在一平面上互相交叉，而形成一水平梳状电极驱动致动器；而可动件的梳状电极亦与另一固定件的梳状电极在一垂直面上互相交叉，而形成一垂直梳状电极驱动致动器；由此，该微机电组件为一水平兼垂直的梳状致动器，或一多组致动器。本发明并包括制造上述梳状致动器的制造方法。

主权项

1、一种具有多组梳状电极的微机电致动器，包括：一第一半导体层，其由一可动件及一固定件组成，而该可动件由一对扭转枢纽支撑而可绕一转轴转动，且在转轴相对边设有二组梳状电极；而该固定件与可动件电性隔离，并设有梳状电极，而固定件的梳状电极与可动件的梳状电极交叉排列；一电性隔离层，其支撑第一半导体层，并介于第一、二半导体层间以电性隔离第一、二半导体层；以及一第二半导体层，其上设有一腔体；该第二半导体层的腔体具适当深度，而成为可动件的转动挡止点，以防止可动件过度摆动倾斜而造成机械损坏；并且，该第二半导体层上设有一组固定梳状电极，该固定梳状电极位于可动件转轴的一边，并与可动件的梳状电极交叉排列。