压电促动器、喷墨头和喷墨打印机及其生产方法

摘要

在生产用于喷墨头的压电促动器的方法中，在薄膜层中所包括的压电材料层是通过在与喷墨头的扫描方向相垂直的方向上相对于振动板移动成膜喷嘴的同时从成膜喷嘴向振动板喷射包含有压电材料颗粒和载气的气胶的AD方法在振动板上形成的。因此，即使当在通过AD方法所形成的薄膜层中发生厚度分布时，也可以尽可能地抑制因厚度分布引起的任何打印质量退化。

主权项

1.一种生产喷墨头的方法，其中喷墨头包括：沟道单元，具有沿平面分布的多个压力室，其中每一个在预定方向上延伸，以及多个喷嘴，分别与这些压力室连通，并且将墨水喷射到记录媒介上；以及压电促动器，具有衬底，位于沟道单元的表面上以覆盖这些压力室，以及多个薄膜层，位于衬底的一个表面上，这些薄膜层包括有压电材料层，该方法包括：用于在衬底上形成压电促动器的各个薄膜层的步骤；以及用于将沟道单元贴装在衬底上的步骤，其中在形成薄膜层的步骤中，这些薄膜层中的至少一个薄膜层是通过在狭缝的宽度方向也就是与预定方向相交的方向上相对于衬底移动具有狭缝的成膜喷嘴的同时，从在成膜喷嘴中形成的狭缝喷射包含有形成薄膜层的颗粒和载气的气胶而形成的。