发明名称 液滴喷射装置及涂敷体的制造方法
摘要 本发明提供的液滴喷射装置,能防止因弹射到涂敷对象物表面的液滴的表层膜破裂而导致的涂敷体的制造不良。本发明的液滴喷射装置备有:将液滴喷射涂敷到涂敷对象物(2a)上的涂敷部;收容涂敷了液滴的涂敷对象物(2a)的收容室(5a);将收容室(5a)内的气体排出的排气部(5c);调节排气部(5c)从收容室(5a)内排出的气体的排气流量的调节部(5d);以使排气流量逐步变化的方式控制调节部(5d)的控制机构。
申请公布号 CN101041149A 申请公布日期 2007.09.26
申请号 CN200610172148.9 申请日期 2006.12.26
申请人 株式会社东芝 发明人 石原治彦;木名濑淳
分类号 B05C5/02(2006.01);B05D3/00(2006.01);F26B5/04(2006.01);B41J2/01(2006.01);B41J2/17(2006.01);B05D1/02(2006.01) 主分类号 B05C5/02(2006.01)
代理机构 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 代理人 何腾云
主权项 1.一种液滴喷射装置,其特征在于,备有:将液滴喷射涂敷到涂敷对象物上的涂敷部;收容涂敷了上述液滴的上述涂敷对象物的收容室;将上述收容室内的气体排出的排气部;调节上述排气部从上述收容室内排出的上述气体的排气流量的调节部;以使上述排气流量逐步变化的方式控制上述调节部的控制机构。
地址 日本东京都