发明名称 |
微波电浆减低装置 |
摘要 |
在一种操作一微波电浆减低装置之方法中,该装置包含一微波产生器及一气体腔室,该气体腔室用于自该微波产生器接收微波能量且使用该微波能量于该气体腔室内产生一电浆,该方法包含下列步骤:监控该气体腔室内未被吸收之微波能量的量,及根据该监控之微波能量来调整由该微波产生器产生之该微波能量的功率。 |
申请公布号 |
TW200734494 |
申请公布日期 |
2007.09.16 |
申请号 |
TW095137031 |
申请日期 |
2006.10.05 |
申请人 |
BOC集团公司 |
发明人 |
玛莉莲那 拉杜;詹姆斯 罗伯特 史密斯;安德鲁 詹姆斯 希利 |
分类号 |
C30B25/14(2006.01);C30B31/16(2006.01);H01J37/32(2006.01);H05H1/46(2006.01) |
主分类号 |
C30B25/14(2006.01) |
代理机构 |
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代理人 |
陈长文 |
主权项 |
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地址 |
英国 |