| 摘要 |
本发明系提供一种在不使用专用之校准机构或自动对焦机构的情况下，可得到位于基板之事先设定之位置的影像，特别是处于对焦状态之影像的外观检验装置。在本发明中，载物台系用以吸附固持晶片者，而载物台旋转机构系使载物台旋转者，而且第1摄像部系通过第1观察光学系统拍摄晶片并形成影像信号，而第2摄像部系通过第2观察光学系统拍摄晶片并形成影像信号。本发明系藉由影像处理部及偏移量计算部检出第2观察光学系统之位置相对于可利用第2摄像部得到对焦时之位置的偏移量，并根据前述位置之偏移量，利用移动机构控制部及第2移动机构控制第2观察光学系统相对于晶片之相对位置。 |
