自基板移除污染物及制作清洗溶液之方法

摘要

一种自基板移除污染物的方法，包含下列步骤：将具有分散相、连续相及分散于该连续相内之粒子的清洗溶液施加至该基板之表面。该方法包含：将分散于该连续相内之该粒子的一者驱迫使其接近该表面污染物之一者。该力足以克服该粒子与该表面污染物间的任何推斥力，以使该粒子之该一者与该表面污染物之该一者结合。该方法更包含：自该基板之该表面移除已结合之粒子与表面污染物。本发明亦提供一种制造此清洗材料的处理。