喷出检测、液滴喷出及电气光学装置及其制造方法、电子设备

摘要

本发明涉及喷出检测、液滴喷出及电气光学装置及其制造方法、电子设备。该喷出检测装置具有：带状的检测片，接受功能液滴喷头的检测喷出；检测台，吸附载置检测片，与真空吸引机构和空气供给机构连通；片送出机构，配置在检测台的一端侧，将卷绕成辊状的检测片送到检测台；片卷取机构，配置在检测片的另一端侧，将送出的检测片自检测台上卷取；吸引空气阀单元，设于检测台和真空吸引机构间，控制检测台的吸引空气；浮起空气阀单元，设于检测台和空气供给机构之间，控制检测台的浮起空气；控制机构，控制吸引空气阀单元、浮起空气阀单元、片送出机构和片卷取机构，控制机构当检测片的送出动作和检测片的卷取动作时使所述检测片浮起。

主权项

1、一种喷出检测装置，其设于具有绘图装置的液滴喷出装置上，该绘图装置一边使功能液滴喷头相对于被配置后的工件沿扫描方向相对移动，一边对所述功能液滴喷头进行喷出驱动，来对所述工件进行绘图，所述喷出检测装置检测所述功能液滴喷头的喷出缺陷，该喷出检测装置的特征在于，具有：带状的检测片，其接收所述功能液滴喷头的检测喷出；检测台，其吸附载置所述检测片，并与用于吸附所述检测片的真空吸引机构和用于浮起所述检测片的空气供给机构连通；片送出机构，其配置在所述检测台的一端侧上，将卷绕成辊状的所述检测片送出到所述检测台上；片卷取机构，其配置在所述检测台的另一端侧上，将送出的所述检测片自所述检测台上卷取；吸引空气阀单元，其设于所述检测台和所述真空吸引机构之间，控制所述检测台的吸引空气；浮起空气阀单元，其设于所述检测台和所述空气供给机构之间，控制所述检测台的浮起空气；控制机构，其控制所述吸引空气阀单元、所述浮起空气阀单元、所述片送出机构和所述片卷取机构，在所述检测片的送出动作和所述检测片的卷取动作时，所述控制机构使所述检测片浮起。