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发明名称 Liquid cooled trap
摘要
申请公布号 EP1716899(A3) 申请公布日期 2007.09.05
申请号 EP20060012177 申请日期 1997.02.07
申请人 MKS INSTRUMENTS, INC. 发明人 GU, YOUFAN;HAUSCHULTZ, DANA S.
分类号 B01D53/26;B01D5/00;B01D7/02;B01D8/00;B01D53/00;C23C16/44;H01L21/31 主分类号 B01D53/26
代理机构 代理人
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