| 发明名称 | 六(单烃基氨基)乙硅烷及其制备方法 | ||
| 摘要 | 本发明要解决的问题是提供不含氯的硅烷化合物，该化合物在氮化硅膜和氧氮化硅膜的情况下提供了优异的低温成膜特性和也具有优异的处理特性。本发明还提供制备这些硅烷化合物的方法。解决方案是，本发明提供具有通式(I)((R)HN)<SUB>3</SUB>-Si-Si-(NH(R))<SUB>3</SUB>的六(单烃基氨基)乙硅烷，其中R表示C<SUB>1</SUB>-C<SUB>4</SUB>烃基。这些乙硅烷化合物可以通过使六氯乙硅烷在有机溶剂中与至少6倍摩尔量的单烃基胺RNH<SUB>2</SUB>反应(其中R是C<SUB>1</SUB>-C<SUB>4</SUB>烃基)来制备。 | ||
| 申请公布号 | CN100335487C | 申请公布日期 | 2007.09.05 |
| 申请号 | CN02823445.6 | 申请日期 | 2002.11.27 |
| 申请人 | 乔治洛德方法研究和开发液化空气有限公司 | 发明人 | C·迪萨拉;J－M·吉拉尔 |
| 分类号 | C07F7/10(2006.01) | 主分类号 | C07F7/10(2006.01) |
| 代理机构 | 北京市中咨律师事务所 | 代理人 | 林柏楠;刘金辉 |
| 主权项 | 1、具有通式(I)的六(单烃基氨基)乙硅烷：((R)HN)3-Si-Si-(NH(R))3(I)其中R表示C1-C4烃基。 | ||
| 地址 | 法国巴黎 | ||