发明名称 |
金属导线及其制造方法 |
摘要 |
本发明公开了一种金属导线及其制造方法,包括下列步骤:形成一第一膜层于一基板上。形成一第二膜层于第一膜层上。形成一导线开口于第一与第二膜层,并曝露出部分基板上表面。对第一膜层的开口侧壁进行蚀刻,使其侧壁向内回缩,而于第二膜层与基板间形成一侧向缺口。形成一晶种层于导线开口曝露的基板上表面及第二膜层上表面。进行一电镀工序,形成一金属材料于晶种层表面,并填充于导线开口与侧向缺口中,而形成一金属层。去除第二膜层,并剥离层叠于第二膜层之上的晶种层及金属材料。 |
申请公布号 |
CN101022080A |
申请公布日期 |
2007.08.22 |
申请号 |
CN200710087532.3 |
申请日期 |
2007.03.16 |
申请人 |
友达光电股份有限公司 |
发明人 |
李豪捷;朱庆云 |
分类号 |
H01L21/28(2006.01);H01L21/336(2006.01);H01L21/768(2006.01);H01L29/423(2006.01);H01L29/786(2006.01);H01L23/522(2006.01);G02F1/1333(2006.01) |
主分类号 |
H01L21/28(2006.01) |
代理机构 |
北京律诚同业知识产权代理有限公司 |
代理人 |
梁挥;徐金国 |
主权项 |
1.一种金属导线的制造方法,包括:形成一晶种层于一基板上;形成一第一膜层于该晶种层上;形成一第二膜层于该第一膜层上;形成一导线开口于该第一与该第二膜层,并曝露出部分该晶种层上表面;对该第一膜层的开口侧壁进行蚀刻,使其侧壁向内回缩,而于该第二膜层与该晶种层间形成一侧向缺口;进行一电镀工序,填充一金属材料于该导线开口与该缺口中,而形成一金属层;去除该第一膜层与该第二膜层,并剥离在该第二膜层上的该金属层;以及去除未被该金属层覆盖的该晶种层。 |
地址 |
中国台湾新竹 |