用于频移干涉测量的相位分辨测量

摘要

一种频移干涉仪从在不同测量光束频率下产生的一组干涉图案中采集强度数据。在测量光束频率的相应范围上将周期函数与从干涉图案集合中采集的强度数据相匹配。涉及测量光束的干涉部分之间的相位偏移的局域相关用于提供用对应于干涉光束部分之间的光程长度差的测量光束频率对相位变化速率的确定。

主权项

1.一种测量测试表面高度变化的方法，包括以下步骤：形成在不同测量光束频率下比较所述测试表面与参考表面的测量光束的干涉部分之间的多个干涉图案；将来自所述多个干涉图案中的干涉数据排列成对应于所述测试表面上的单独的点的集合；将所述单独的集合内的干涉数据求值成幅度作为所述测量光束频率的函数而周期性地变化的周期函数的相位偏移和频率；以及将所述周期函数的相位偏移和频率组合成所述测试表面上的单独的点之间的高度变化的量度。