发明名称 |
图案形成方法、液滴喷出装置、电光装置及液晶显示装置 |
摘要 |
本发明的图案形成方法,通过朝向基板喷出图案形成材料的液滴,从而在基板上形成由液滴构成的图案。所述液滴沿从基板的法线向规定方向倾斜了规定角度的方向喷出,且该喷出在所述规定方向上按规定距离进行。基于所述液滴的直径以及所述规定距离设定所述规定角度,以使着落于基板的由各液滴构成的墨点在所述规定方向上的尺寸是所述规定距离以上。因此,能够提高图案的膜厚均匀性。 |
申请公布号 |
CN101020388A |
申请公布日期 |
2007.08.22 |
申请号 |
CN200710008093.2 |
申请日期 |
2007.02.09 |
申请人 |
精工爱普生株式会社 |
发明人 |
蛭间敬;春日治;岩田裕二 |
分类号 |
B41J2/07(2006.01);B41J3/407(2006.01);H01L51/00(2006.01);G02F1/1337(2006.01) |
主分类号 |
B41J2/07(2006.01) |
代理机构 |
中科专利商标代理有限责任公司 |
代理人 |
李贵亮 |
主权项 |
1.一种图案形成方法,通过朝向基板喷出图案形成材料的液滴,在基板上形成由液滴构成的图案,其特征在于,所述液滴沿从基板的法线向规定方向倾斜了规定角度的方向喷出,并且该喷出在所述规定方向上按每规定距离进行,基于所述液滴的直径以及所述规定距离设定所述规定角度,使由着落于基板的各液滴所构成的墨点在所述规定方向上的尺寸是所述规定距离以上。 |
地址 |
日本东京 |