用以改善取样影像之所侦测到之解析度及/或强度的装置和方法

摘要

至少一例示性实施例系有关侦测孔径，其改变有效的孔径折射率或提供散射结构，以改善取样影像之所侦测到的解析度及/或强度。在至少一例示性实施例中，一介质被插入于孔径中，以使通过该孔径之偏极化的透射比匹配，以及控制通过该孔径之偏极化的相对透射比。在另一例示性实施例中，提供用来散射或使绕射孔径光转向的结构，以改善侦测解析度及/或强度。