掺杂氘氧基矽石玻璃光学构件及光微影系统及制造方法

摘要

本发明揭示出一种掺杂OD之合成矽石玻璃，其能够使用于操作波长低于300nm光微影之光学元件中。掺杂OD合成矽石玻璃发现具有显着较低之偏极感应双折射性数值低于相当OH浓度之非掺杂OD矽石玻璃情况。本发明亦揭示出制造掺杂OD合成矽石玻璃之处理过程，由该玻璃所构成之光学构件，以及由该光学构件所构成之光微影系统。玻璃特别地适合于浸润式光微影系统，其由于在193nm下为非常低的偏极感应双折射性。