抗反射涂料材料

摘要

本发明系关于适用于形成抗反射涂料之倍半氧矽烷树脂，其具有下式：(PhSiO(3-x)/2(OH)x)mHSiO(3-x)/2(OH)x)n(MeSiO(3-x)/2(OH)x)p(RSiO(3-x)/2(OH)x)q其中Ph为苯基，Me为甲基，R为聚氧化乙烯基团，x具有0、1或2之值；m具有0.01至0.99之值，n具有0.01至0.99之值，p具有0.01至0.99之值，q具有0.01至0.50之值，且m+n+p+q 1。