基板洗净方法、基板洗净装置及电脑可读取之记忆媒体

摘要

本发明的基板洗净方法系包含将由液体和气体所组成之2流体喷流供应到基板的表面之过程，该将由液体和气体所组成之2流体喷流供应到基板的表面之过程中，使用纯水和异丙醇的混合液来作为液体，该混合液中的异丙醇浓度为10~60体积％，微粒(particle)的除去率为80％以上。