| 发明名称 | 蒸镀设备及其蒸镀源更换方法 | ||
| 摘要 | 一种蒸镀设备及其蒸镀源更换方法，其中该蒸镀设备包括一反应腔体、一子腔体、以及一第一蒸镀源。该子腔体连通该反应腔体，该子腔体包括一真空阀门以及一减压阀门，该真空阀门设于该子腔体与该反应腔体之间，该减压阀门设于该子腔体与大气环境之间。第一蒸镀源设于该子腔体之中。根据本发明的蒸镀设备及其蒸镀源更换方法可节省更换蒸镀源所花费的时间，降低生产成本。 | ||
| 申请公布号 | CN101016620A | 申请公布日期 | 2007.08.15 |
| 申请号 | CN200710084481.9 | 申请日期 | 2007.03.02 |
| 申请人 | 友达光电股份有限公司 | 发明人 | 李兴铨 |
| 分类号 | C23C14/24(2006.01);C23C14/54(2006.01) | 主分类号 | C23C14/24(2006.01) |
| 代理机构 | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人 | 潘培坤 |
| 主权项 | 1.一种蒸镀设备，包括：一反应腔体；一子腔体，其连通该反应腔体，该子腔体包括一真空阀门以及一减压阀门，该真空阀门设于该子腔体与该反应腔体之间，该减压阀门设于该子腔体与大气环境之间；以及一第一蒸镀源，其设于该子腔体之中。 | ||
| 地址 | 中国台湾新竹市 | ||