| 发明名称 | 离子束辐照设备 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种离子束辐照设备，其包括：支撑基板的夹具；以及离子束源，其距离基板预定距离，并倾斜以基本平行于基板，并向基板辐照离子束。 | ||
| 申请公布号 | CN1332414C | 申请公布日期 | 2007.08.15 |
| 申请号 | CN200310121497.4 | 申请日期 | 2003.12.18 |
| 申请人 | LG.飞利浦LCD有限公司 | 发明人 | 李润复;咸溶晟 |
| 分类号 | H01J37/00(2006.01);G02F1/13(2006.01) | 主分类号 | H01J37/00(2006.01) |
| 代理机构 | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人 | 李辉 |
| 主权项 | 1.一种离子束辐照设备，其包括：支撑基板并位于真空容器中的夹具；以及离子束源，其距离基板预定距离，并相对于所述真空容器底部而倾斜以基本平行于基板，并向基板辐照离子束。 | ||
| 地址 | 韩国首尔 | ||