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发明名称 METHOD OF FORMING A THIN FILM COMPONENT
摘要
申请公布号 EP1815525(A1) 申请公布日期 2007.08.08
申请号 EP20050804190 申请日期 2005.10.04
申请人 HEWLETT-PACKARD DEVELOPMENT COMPANY, L.P. 发明人 HOFFMAN, RANDY;MARDILOVICH, PETER;PUNSALAN, DAVID
分类号 H01L29/417;H01L29/49;H01L21/336;H01L21/445;H01L29/786 主分类号 H01L29/417
代理机构 代理人
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