发明名称
摘要
申请公布号 JP2007521665(A) 申请公布日期 2007.08.02
申请号 JP20060546991 申请日期 2004.11.09
申请人 发明人
分类号 H01L21/3065;G03F7/42;H01L21/027;H01L21/311 主分类号 H01L21/3065
代理机构 代理人
主权项
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