发明名称
摘要
申请公布号 JP3950563(B2) 申请公布日期 2007.08.01
申请号 JP19980338080 申请日期 1998.11.27
申请人 发明人
分类号 G01N27/62;H01J49/10;H01J49/42 主分类号 G01N27/62
代理机构 代理人
主权项
地址