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经营范围
发明名称
ULTRAVIOLET ASSISTED PORE SEALING OF POROUS LOW K DIELECTRIC FILMS
摘要
申请公布号
EP1812962(A2)
申请公布日期
2007.08.01
申请号
EP20050818471
申请日期
2005.11.08
申请人
AXCELIS TECHNOLOGIES, INC.
发明人
WALDFRIED, CARLO;ESCORCIA, ORLANDO;BERRY, IVAN
分类号
H01L21/316
主分类号
H01L21/316
代理机构
代理人
主权项
地址
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