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发明名称
摘要
申请公布号 JP3949192(B2) 申请公布日期 2007.07.25
申请号 JP19960160339 申请日期 1996.06.20
申请人 发明人
分类号 C30B31/22;H01L21/265;H01L21/762;H01L29/16 主分类号 C30B31/22
代理机构 代理人
主权项
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