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发明名称 APPARATUS AND METHOD FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR100742279(B1) 申请公布日期 2007.07.24
申请号 KR20050128017 申请日期 2005.12.22
申请人 发明人
分类号 H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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