无水氢氟酸组合物及其制备方法

摘要

本发明系关于一种降低无水氢氟酸之水含量之方法，其中使具有第一水杂质浓度之粗无水氢氟酸与羰基氟化物接触以制备具有第二水杂质浓度之无水氢氟酸，其中该第二浓度系低于该第一浓度。