Monolithisches Biegeelement

摘要

Die Erfindung gibt ein Verfahren zur Herstellung eines Bauteils als monolithisches Vielschichtelement oder Vielschicht-Biegeelement an, mit zumindest zwei Lagenpaketen (1) mit jeweils 1-400 Lagen piezoelektrisch aktiven Materials, die durch mindestens ein Lagenpaket (2) aus 0-100 Lagen piezoelektrisch inaktiven Materials getrennt werden, wobei die Innenelektroden der aktiven Lagenpakete zumindest folgende Materialien enthalten: DOLLAR A a) reines Silber DOLLAR A b) elektrisch nicht leitfähiges Material mit einem Gewichtsanteil von 0% bis maximal 30% DOLLAR A und das Material der piezoelektrisch aktiven Lagen eine derart ausreichende Aktivität in einem thermischen Prozess hat, dass ein Sintern unterhalb der Schmelztemperatur des Materials der Innenelektroden möglich ist und auch ausgeführt wird.