发明名称 Device for handling flat panels in a vacuum
摘要
申请公布号 KR100738592(B1) 申请公布日期 2007.07.11
申请号 KR20047009278 申请日期 2003.02.21
申请人 发明人
分类号 B25J19/00;H01L21/68;B25J9/04;B25J18/04;B65G49/06;B65G49/07;H01L21/677 主分类号 B25J19/00
代理机构 代理人
主权项
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