| 发明名称 | 激光干涉反射镜组件 | ||
| 摘要 | 一种激光干涉反射镜组件(1)包括玻璃基板(2)和第一、第二垂直的玻璃反射镜块(3、4)，每个反射镜块被一对支座(6、7、8、9)支撑于玻璃基板的上表面(5)之上。 | ||
| 申请公布号 | CN1997942A | 申请公布日期 | 2007.07.11 |
| 申请号 | CN200580017794.1 | 申请日期 | 2005.05.13 |
| 申请人 | 纳米束有限公司 | 发明人 | 张涛 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01);G01B9/02(2006.01) | 主分类号 | G03F7/20(2006.01) |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 刘华联 |
| 主权项 | 1、一种激光干涉反射镜组件，包括具有上表面的玻璃基板；和第一、第二玻璃反射镜块；所述的每个玻璃反射镜块被两个或三个为一组的玻璃支持体支撑于所述玻璃基板的所述上表面上，每个支持体被粘于玻璃块上，每个反射镜块被粘于相应的一组支持体上，所述第一、第二玻璃反射镜块置于所述玻璃反射镜块上以提供垂直的第一、第二反射镜。 | ||
| 地址 | 英国剑桥 | ||