PHOTORESISTZUSAMMENSETZUNG MIT EINER WASSLÖSLICHEN FOTOSÄURE ERZEUGENDEN SUBSTANZ,申请号DE20016022148T-传众专利搜索

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发明名称	PHOTORESISTZUSAMMENSETZUNG MIT EINER WASSLÖSLICHEN FOTOSÄURE ERZEUGENDEN SUBSTANZ
摘要
申请公布号	DE60122148(T2)	申请公布日期	2007.07.05
申请号	DE20016022148T	申请日期	2001.06.28
申请人	INFINEON TECHNOLOGIES AG	发明人	LU, ZHIJIAN;GUTMAN, ALOIS
分类号	G03F7/004;G03F7/039	主分类号	G03F7/004
代理机构		代理人
主权项
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