发明名称 静电吸附装置
摘要 本案系提出一种静电吸附装置,该静电吸附装置具有机座、支架、操控装置、摩擦装置以及平台。其中,摩擦装置系与操控装置耦接而设置于支架上,透过操控装置控制摩擦装置与平台表面成适当接触,当平台与摩擦装置有相对运动时,摩擦装置与平台可相互摩擦,以在平台表面产生静电,进而吸附并固定欲进行检测的电路板。
申请公布号 TW200726055 申请公布日期 2007.07.01
申请号 TW094146868 申请日期 2005.12.27
申请人 财团法人工业技术研究院 发明人 石宇森
分类号 H02N13/00(2006.01) 主分类号 H02N13/00(2006.01)
代理机构 代理人 蔡清福
主权项
地址 新竹县竹东镇中兴路4段195号